電子級超純水設備技術工藝解析

分類：技術資料 /Technical Information
作者：
來源：
發布時間：2019-06-19
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【概要描述】電子行業生產過程對生產用水使用要求非常高，集成電路的集成度越高，對水質要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。使用重慶電子級超純水設備可以制取五個標準的水。　　電子、半導體、液晶顯示、光伏工業生產在制作過程中，往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質達不到生產工藝用水的要

電子級超純水設備技術工藝解析

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電子級超純水設備技術工藝解析

【概要描述】電子行業生產過程對生產用水使用要求非常高，集成電路的集成度越高，對水質要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。使用重慶電子級超純水設備可以制取五個標準的水。　　電子、半導體、液晶顯示、光伏工業生產在制作過程中，往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質達不到生產工藝用水的要

分類：技術資料 /Technical Information
作者：
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發布時間：2019-06-19
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　　電子行業生產過程對生產用水使用要求非常高，集成電路的集成度越高，對水質要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。使用重慶電子級超純水設備可以制取五個標準的水。

　　電子、半導體、液晶顯示、光伏工業生產在制作過程中，往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質達不到生產工藝用水的要求或者水質不穩定的話，會影響到后續工藝的處理效果和使用壽命。在光伏行業電子管生產中，如其中混入雜質，就會影響電子的發射，進而影響電子管的放大性能及壽命，在顯像管和陰極射線管生產中，其熒光屏內壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質，如其配制純水中含銅在8ppb以上，就會引起發光變色;含鐵在50ppb以上就會使發光變色、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品

　　電子級超純水設備工藝流程

　　1、采用離子交換方式，其流程如下：自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→陽樹脂床→陰樹脂床→陰陽樹脂混合床→微孔過濾器→用水點。

　　2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透主機→PH調節→混合器→二級反滲透主機（反滲透膜表面帶正電荷）→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點。

　　3、采用高效反滲透加EDI方式，其流程如下（最新工藝性價比最高）：自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調節系統→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點。

　　電子級超純水處理系統特點

　　1.占地面積小，水利用率高，不會消耗大量酸堿，除鹽率可達99%以上。

　　2.電子級超純水處理系統缺點是投資相對較大。

　　3.電子級超純水處理系統將疊片式過濾器、超濾膜作及保安過濾器作為預處理，能去除水中懸浮物、膠體、余氯、泥沙等雜質，使處理后的水符合反滲透進水要求，在經過反滲透膜除去溶解性鹽類物質、細菌等，然后使用連續電除鹽裝置進一步脫鹽處理，使產水電阻率達到15MΩ.cm以上，再采用電子級純水樹脂拋光混床除鹽，使產水電阻率達到18.2MΩ.cm。使用TOC降解器和精密過濾器進行后處理，防止被細菌二次污染。

　　4.重慶力德電子級超純水系統中主要元件如EDI膜塊等均選用國際知名品牌，全部按照反滲透膜設計以及EDI的進水要求進行設備選型，保證系統安全運行。

　　電子級超純水設備的場合應用

　　·電子級半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；

　　·電子級超純材料和超純化學試劑；

　　·實驗室和中試車間；

　　·汽車、家電表面拋光處理；

　　·其他高科技精微產品。

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